P A T 247

Rendkívül pontos és nagyon érzékeny berendezéssel rendelkezik, például mikroszkóppal, vizsgálóberendezéssel, képalkotó rendszerrel vagy polírozó géppel, és nem elegendő az aktív vagy passzív izolációs platform használata? Előfordulhat, hogy a helyi/globális rezonanciák rontják az izolációs rendszer teljesítményét, mert az nem elég merev, vagy mert a perturbációs források az izolált alkatrészen helyezkednek el. Ilyen esetben az aktív csillapító eszközeink megoldást nyújtanak azáltal, hogy strukturális csillapítást vezetnek be a legtöbb nem kívánt mechanikai rezonanciába. Akár 15%-os szerkezeti csillapítás is elérhető, nagyobb áttervezési erőfeszítés nélkül. A passzív csillapítókkal összehasonlítva az ADD könnyebb és nem érzékeny a tartószerkezet dinamikájának változásaira. elszigetelt gépek szerkezeti rezgéscsökkentése a teljesítmény javítására (mikrolitográfia, mikroszkóp, chipgyártó vagy ellenőrző gépek, stb.)